二手 VERTEQ 1800 #9410983 待售

製造商
VERTEQ
模型
1800
ID: 9410983
晶圆大小: 6"
Spin Rinse Dryer (SRD), 6".
VERTEQ 1800是为PCB生产、MEMS、先进包装等错综复杂的微电子制造工艺而设计的最先进的光刻设备。先进的系统提供卓越的光刻胶分辨率和高的曝光精度,使其非常适合各种潜在的应用。1800利用高端汞暴露源,使其能够在18 J/cm ²/秒时暴露,从而产生0.1-0.2 μ m的生产级特征,最小宽度,准确度为正负5%。该单元基于蒙版的曝光技术使用户能够对模式的不同部分应用不同的曝光剂量。这允许在MEMS等领域进行极高分辨率的制造。VERTEQ 1800采用先进的高灵敏度光学机器设计。它还使用100毫秒的闪光灯,以及直接成像技术,检测来自抵抗模式的光散射。整个工具包括一个先进的抗蚀剂处理站,能够对微电子抗蚀剂材料进行可重复和全面的管理。1800是一项完全集成的资产,使用户可以享受最佳吞吐量和较低的可操作性成本。它采用全自动抗蚀剂装卸机制和优化的工艺流程,使用户能够快速执行光刻涂层、曝光和开发等工艺。总体而言,VERTEQ 1800是一种高容量、可靠和高效的光刻胶模型,它以高精度为用户提供生产级特性的优势。其先进的特点使其成为各种微电子制造需求的可行选择,并为用户提供了一种经济高效的光刻胶生产解决方桉。
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