二手 VERTEQ DT 560M #124425 待售

VERTEQ DT 560M是一种用于先进光刻工艺的精密数字透射光刻设备.它旨在实现高分辨率的光抛光,以实现难以置信的紧密特征和密度。该系统具有独特设计的光学组件,是一种由计算机控制的无线工具,可提高准确性和可重复性。DT 560M具有广阔的视野，分辨率高达10微米，适合广泛的精密光刻工艺。成像单元具有很长的动态范围，提供高量子效率和广泛的曝光纬度。激光二极管提供非常精确的照明控制，带有可调节的扩散卤素光源，用于集成晶片。VERTEQ DT 560M配备了专利光剂量控制单元，可帮助准确、精确地调整每个过程的曝光时间和激光强度。该机还提供了一个界面，用于自动光曝光控制。这使机器操作员能够为所需的输出精确设置曝光过程的参数。DT 560M工具还提供精确对齐功能以及用户友好、直观的图形用户界面。该资产提供了精确的5轴运动编码，专利的自动对齐方法被设计为提供准确的交叉晶圆对齐。这样可以确保无论晶圆大小如何,阵列都能正确对齐。最后，该模型包括自动晶片处理软件，该软件可优化光刻胶制图工艺。这使得VERTEQ DT 560M一种高效可靠的光刻设备,用于创建具有非常严格公差的高分辨率光掩模。该软件还设计用于在操作过程中出现任何问题时轻松排除故障。