二手 VERTEQ Etch Processor #142255 待售

VERTEQ蚀刻处理器（PERTEQ Etch Processor）是一种光刻设备，用于在硬质基板上进行精确蚀刻和凋刻，如金属和硬质塑料。该系统坚固而高效的设计使其能够在高达90°C的温度下工作,并具有一系列强度高达T6的合适材料。它还包括一种独特的层层形成技术，在非常薄的基板和低k介电材料上提供均匀蚀刻。蚀刻处理器由三个主要组件组成：电解放电单元、光路单元和阳极蚀刻单元。电解放电单元用于在围绕基板的浴中产生电流。然后，该电流被用于激活光刻材料，其中暴露的部分变为导电，未暴露的部分保留其绝缘特性。光路单元负责将光源与基板分离，并以受控模式将光聚焦到抗蚀剂材料上。这样可以在目标材料中进行精确的光图样和蚀刻图样。最后，阳极蚀刻单元负责底物材料的实际蚀刻，因为施加的电流水平导致材料中的氧化反应。VERTEQ蚀刻处理器还包括温度控制、压力控制和湿度控制单元,以确保蚀刻参数保持在指定范围内。此外，该单元还包括一个闭环反馈机，它可以连续监测蚀刻过程并相应调整阳极电流水平。短路保护、断路监控资产等工具安全功能也已到位。整套工具和机构使Etch Processor成为电子包装、染料传感和铁电应用的理想工具。这种可靠高效的微蚀刻模型可用于将复杂复杂的形状蚀刻到各种硬质基板上，具有优异的特性和业界领先的精确度。