二手 VERTEQ MCS-2600-3A-UCX #9196057 待售

VERTEQ MCS-2600-3A-UCX光刻设备是为先进的光刻应用而设计的最先进的生产工具。它利用一种专利的声学耦合散热器技术，在光刻胶表面均匀分布热量。通过在整个光刻层上保持均匀的温度场，该系统能够产生高度精确的光刻图样，并提高了细节和精度。MCS-2600-3A-UCX有一个双隔间单元，一个腔室装有声学散热器，另一个腔室装有基于二甲基氰化物（DMAC）的光致抗蚀剂。这两个元件由一个声学换能器耦合，它将散热器产生的热量传递到光刻胶中。两个腔室都是单独温度控制的，以确保在延长运行期间具有一致的抵抗温度。VERTEQ MCS-2600-3A-UCX能够产生定义明确的光刻蚀刻图样，其临界尺寸小至0.4微米。该机器具有许多过程自动化功能，例如具有自动装卸能力的全自动曝光室和全面的用户监控能力。适用于一系列应用，包括半导体制造、LED和光学元件的模式生成以及液晶显示器的生产。除了提供卓越的性能和可靠性外,MCS-2600-3A-UCX还被设计为先进光刻应用的经济高效的解决方桉。由于组件的强大设计,该工具提供了最大的资产正常运行时间和较低的维护成本。该模型还能够通过高分辨率成像高速生产光刻模板。VERTEQ MCS-2600-3A-UCX是一种先进的光刻设备,旨在为最复杂的光刻工艺提供最佳性能、可重复性和可靠性。它利用一种获得专利的声学耦合散热器技术来维持均匀的抗蚀性温度，并且能够产生定义明确、临界尺寸小至0.4微米的光刻蚀刻图样。该系统提供可靠的性能和经济效益,使其成为高级光刻应用的理想解决方桉。