二手 VERTEQ SC1600-3 #293592052 待售
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VERTEQ SC1600-3是一种光致抗蚀剂设备，常用于光学元件的制造和薄膜沉积。它具有最先进的高功率和均匀性的光学投影系统，以便在各种基板上应用精确的图样。SC1600-3光刻装置包括高分辨率扫描导线头和精密光学器件以及一个软件包,允许用户处理复杂的矢量和光栅设计。该机提供1800瓦功率的三步式脉冲工具，以确保光刻胶层的均匀移位。资产的顶层是配备多达8个线性扫描轴的板，可以单独控制。晶圆移动模型（WMS）可确保精确的基板定位,即使使用大型晶圆也是如此。它具有集成的快门机构和冷却设备，以防止过热。VERTEQ SC1600-3具有高精度阶段进料,可用于多种基材,吞吐量高达450 um/s,可重复精度为30 um。它还包括一个快速聚焦优化功能,它使用户能够快速调整投影光学器件,以实现两次曝光之间的最佳聚焦。得益于可调节的光掩模支架和电动光源，用户可以快速、轻松地在不同的光掩模之间切换。此外,系统还可以通过一整套数字过程控制功能以及一系列特定于工具的功能（包括自动对焦、对准、对准和扫描）手动或自动操作。SC1600-3还具有广泛的过程控制功能,允许用户针对每种基材类型和材料自定义其过程。这些包括标线载荷、光刻胶应用、曝光控制、对准和配准控制、蚀刻和开发。它还支持各种基材类型的广泛抗性材料和厚度，包括聚酰亚胺、石英和氧化锡氙（ITO）。为了确保最终产品的最高质量，VERTEQ SC1600-3还包括各种诊断和监控功能，如均匀性映射、临界维度分析和透射率。其软件界面允许用户对定制配方进行编程，并实时生成报告。总之，SC1600-3是高精度、高密度光刻加工的理想工具。其强大的设计、多用途的数字化过程控制能力和快速的处理速度使其成为光学元件制造和薄膜沉积的理想选择。
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