二手 VERTEQ ST600-41L #293597566 待售

VERTEQ ST600-41L光致抗蚀剂设备是一种先进的系统，旨在处理光致抗蚀剂遮罩材料并提供可靠的结果。这一单元由先进的光刻、计量和跟踪工具组成，并设有真空光对齐器，旨在减少缺陷和提高产量。ST600-41L光刻机是一种具有以下特点的先进工具：多层光刻加工：VERTEQ ST600-41L资产能够同时处理多达四个光刻层。这意味着可以很容易地产生复杂的结构和特征。此外,该模型还可以处理厚膜和薄膜,从而减少了对额外薄膜工艺的需求。亚微米分辨率：该设备拥有行业领先的0.2微米分辨率，确保光刻胶处理过程中的最高精度。该系统可以方便地处理宽度和高度为0.2微米的多层结构。Automated True Focus Metrology Unit： ST600-41L包括一台automated true-focus metrology machine,它使用户能够在很大的范围内准确测量阵列的光学焦点。这样可以提高线宽和均匀性。平面内级控制：高度精确的平面内级控制可确保在广域内具有一致的模式重复精度（CD均匀性）。这减少了手动修饰的需要。臭氧和紫外线综合暴露工具：臭氧和紫外线综合暴露资产可确保在暴露光刻胶层时达到最佳一致性。高精度GY轴：高精度GY轴提供精确的定位,便于处理晶圆级特征。此轴可以使用auto-shim要求精确对齐。机器人装载机：机器人装载机允许用户快速准确地将晶片装入和卸出模型。这样可以减少传输错误,并最大程度地减少总体处理时间。流程跟踪软件：流程跟踪软件使用户能够一致跟踪晶圆处理的进度。这样可以确保最终产品满足客户的要求。VERTEQ ST600-41L Photoresist Equipment是一个先进的系统,具有强大的功能,能够可靠地生产具有提高产量的光刻胶口罩。它的多层处理能力、亚微米分辨率和自动化的真实焦点计量单元能够高精度地生产复杂的模式和特征。此外，其集成的臭氧和紫外线暴露机、高精度GY轴、机器人装载机和过程跟踪软件有助于减少过程时间和错误。