二手 VERTEQ ST600-42T #9126464 待售
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VERTEQ ST600-42T是一种适合高精度图样设计需要的专用光刻设备。这个系统是围绕一个装有完全集成扫描隧道显微镜(STM)的沉积室建造的。STM探针可用于在固化过程、自动对准过程和其他关键操作过程中注入和监控光敏材料。这样可以确保以高达1纳米的精度来保持抗蚀性厚度和轮廓。设备先进的运动控制系统和精心设计的软件使用户能够生成精确的图桉,即使在曲面上也是如此。该单元还支持多层阵列,并可控制空间、高度、宽度、方向和大小。这确保了模式可以应用到基板上以满足任何给定应用程序的规范。ST600-42T装有气冷氙灯。此功能允许用户调整电源输出和曝光周期以匹配其工艺参数。此外,内置的光学对齐机可帮助用户精确对齐和控制模式,从而提高精度。该工具还包括高速基板装载机。此加载程序使用户能够在基板之间快速切换,从而减少停机时间和磨损。该资产专为洁净室环境设计,具有一系列安全功能,包括防毒面具和灭火模型。VERTEQ ST600-42T能够提供优异的性能和高产率。凭借多年的光刻经验,VERTEQ工程师设计了一种能够满足最苛刻的阵列要求的设备。对于任何需要在大面积和/或薄基板上对高精度抗蚀层进行阵列化的企业,强烈建议使用该系统。
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