二手 VERTEQ ST600-C2-E1 #293602068 待售
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VERTEQ ST600-C2-E1是一种用于制造尖端微电子器件的高性能光阻设备。该系统旨在提供对阵列制作过程的精确控制,产生出色的设备性能和可靠性。ST600-C2-E1是由五个主要成分组成的最先进的光刻装置。第一个元件是紫外线(UV)激光器,能够在UV-A、UV-B甚至UV-C范围内发射短波长辐射。这种激光器用于在半导体晶片和其他基板上绘制光刻石层图样。激光由数字信号处理器控制,使其能够以精确的精度产生任何复杂的模式。机器的第二个组件是符合人体工程学的工作站,专为熟练的操作员设计,以安全、高效的方式工作。该工作站可以在激光下旋转和倾斜晶片,从而能够在各种表面上精确写入光刻胶。它还具有传感器,用于检测要暴露的表面积,并向操作员提供反馈,以确保光刻胶的均匀覆盖。第三个组件是数字控制器,用于监视工具的性能并调整电源输出以确保正确的模式。资产还有几个传感器,包括激光束诊断和晶圆温度传感器,以确保一个稳定的过程。模型的第四个组成部分是一个强大的曝光后单元,利用先进的光学器件将掩模对准晶圆表面,并提供精确的光阻覆盖。此单元还具有几种嵌入式算法来校正在光束对准和曝光期间可能发生的错误。最后,该设备的第五部分是晶圆运输用传送带。这条皮带配有传感器,确保晶片从工作站安全高效地转移到曝光后单元,从而完成整个制图过程。总体而言,VERTEQ ST600-C2-E1系统是一个非常可靠、高效和精确的光刻装置.它具有高性能和多层安全性,可用于尖端微电子器件的制造。
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