二手 VERTEQ SuperClean 1600-55M #9003267 待售

VERTEQ SuperClean 1600-55M是一款高端光刻设备，旨在方便现代复杂设备的生产。它能够以每分钟55加仑的速度清洁多达16英寸x 16英寸的基材和组件。利用氢氟酸、热水和各种高压组分的组合，SuperClean 1600-55M能够去除有机和无机光致抗蚀剂残留物，最大限度地减少潜在污染，并提高高精密组分的生存功能。VERTEQ SuperClean 1600-55M的热水部件采用温度范围为40-85 C的加热导电加热元件，以及容量可达55加仑的循环罐。水在系统周围循环利用，为清洁作业提供持续的热水和清洁水。氢氟酸配有自动滴定器，将溶液的pH值调整到最佳水平，确保组件的清洁更加完美。为了确保任何基板的最高质量的清洁度,SuperClean 1600-55M配有几种独特的工具。第一个是"Z-Platform"，旨在提高清洗过程的效率。该装置与额外的冲洗循环和/或化学剥离循环协同工作，以最大程度地去除光致抗蚀剂。能分别控制温度、溷合、流速、工艺时间和化学性质。机器还提供高压喷雾喷射器，一旦清洁完成，这些喷射器就会清除基板上的残留物。为了进一步确保清洁，VERTEQ SuperClean 1600-55M还允许在线检测化学残留物。这是通过浸入式电导探头来实现的，该探头测量pH值和电导率，对清洗效率进行快速准确的分析。此外，还可以使用具有可调分辨率的光学密度模块，就清洁过程的有效性提供反馈。前沿技术与卓越的工艺控制相结合，使SuperClean 1600-55M成为化学处理和光致抗蚀剂清洗的理想工具。从一流的精密零件到错综复杂的现代元件,VERTEQ SuperClean 1600-55M以无可挑剔的质量进行清洁,同时确保最大效率。