二手 VERTEQ SuperClean 1600 #293640275 待售

VERTEQ SuperClean 1600是一款提供全方位服务的光刻设备,旨在提供卓越的性能和效率。它采用了先进的技术和功能，增强了清洁和蚀刻能力，同时产生了可靠和一致的结果。该系统能够处理从光致抗蚀剂到自旋玻璃的各种抗蚀剂，因此非常适合各种行业，包括半导体、汽车和航空航天应用。SuperClean 1600装有一个16夸脱的底部进料罐和陶瓷包覆晶片架。该罐设计用于高密度清洁，允许有效去除金属氧化物、钝化层和光致抗蚀剂残留物等颗粒。晶片持有者可以获得优异的蚀刻效果,提供卓越的均匀性和完美的平坦表面.由于其先进的密封机，该装置还被设计为最大限度地减少交叉污染。VERTEQ SuperClean 1600具有独特的专利清洁工艺,称为SuperCOAT,它消除了泡沫,不需要具有侵略性的化学或表面活性剂。此专利工艺有助于提高晶圆吞吐量和产品产量。该工具还具有先进的真空控制资产和可完全调节的温度控制模型,可实现精确的温度调节和快速的冷却时间。SuperClean 1600还拥有全方位的安全功能。它配备了自动电源故障关机，以及具有锁定功能的先进软件设备，以确保防止可能导致晶圆损坏的编程错误。此外,整个系统中的传感器会检测泄漏、潜在危险,并检查操作是否正确。总体而言,VERTEQ SuperClean 1600是一款高效、可靠且安全的光刻装置,提供卓越的性能和效果。其获得专利的清洗工艺、先进的安全特性和高效的操作使其成为广泛应用的理想选择。