二手 VERTEQ SuperClean 1600 #9243728 待售

VERTEQ SuperClean 1600
製造商
VERTEQ
模型
SuperClean 1600
ID: 9243728
晶圆大小: 8"
优质的: 1998
Spin Rinse Dryer (SRD), 8" 1998 vintage.
VERTEQ SuperClean 1600是一款设计用于光刻行业的最先进的光刻设备。该系统利用先进技术的独特融合,为各种光刻工艺中使用的光刻材料提供高水平的清洁。SuperClean 1600使用从应用高压热水喷雾开始的三步流程运行。这种水溶液被加热产生一股热水和清洁剂流动,从光致抗蚀剂表面去除颗粒和有机残留物。接下来是冲洗过程,清除最初被洗涤剂溶解的污染物和残留物。最后的清洁步骤涉及一种特殊的微波等离子体技术,以进一步清洁光致抗蚀剂的表面。该技术利用紫外线和气压,主动氧化杂质和颗粒,降低存在有机物的水平,确保更高的表面清洁度。VERTEQ SuperClean 1600是一个高度先进的设备,它提供了许多优于旧式、传统的光致抗蚀剂清洁技术的优势。这种设备不需要使用苛刻的化学物质或溶剂,这些化学物质或溶剂会损坏光刻胶表面,同时对光刻胶进行卓越的彻底和精确的清洁。此外,它的精密清洁工艺可以很容易地校准,以适应不同类型的材料,而它的小巧,便于安装和灵活性。最后,SuperClean 1600配备了安全功能以降低损坏风险,以及方便操作和维护的用户友好控制。由于专门针对不同的光刻材料开发了优化的清洁轮廓,这台机器提供了卓越的清洁效果,从而在制造复杂的光刻图样时提供了更高的精度。因此,VERTEQ SuperClean 1600是确保可靠高效的光刻清洁度和优越的终端产品的理想解决方桉。
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