二手 VERTEQ SuperClean 1600 #9243729 待售
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VERTEQ SuperClean 1600是一种光阻设备,其设计目的是在处理晶圆和基板时提供非凡的效果。该系统非常适合需要高度清洁的精密敏感应用,因为它允许同时进行深层清洁和去除光致抗蚀剂残留物。SuperClean 1600允许工程师和专业人士优化从基材中去除光刻胶材料的工艺。该装置采用一种称为"冷等离子体"工艺的机制来去除光致抗蚀剂材料。冷等离子体过程是利用通过等离子体腔的离子流和自由基的非热清洁方法。通过将一束强烈的活化离子和自由基对准基板,机器从表面去除了抗性粒子。此外,该工艺不会产生任何有害的副产品,也不会在基板上产生任何额外的污染。VERTEQ SuperClean 1600是一款功能强大、高效且用途广泛的光刻工具。它能够轻松处理各种操作,包括湿法和干法。其低峰温度控制确保易碎晶片和其他基板保持完好,同时允许最大清洁功率。此外,设备内强大的真空资产可以快速高效地清除抗蚀剂。这款车型还配备了照明室、过热报警器等先进的安全功能,以及有助于防止磨料颗粒的双壁设计。SuperClean 1600光致抗蚀剂设备是一种可靠、坚固的设备,非常适合要求最高清洁度的基板。该系统具有耐用的结构、可靠的精度和光刻胶的快速去除等多种特点,使技术人员能够以精确和快速的速度自信地加工基板和晶片。
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