二手 VERTEQ SuperClean 1800 #9254916 待售

VERTEQ SuperClean 1800是一款先进的光阻设备，旨在快速有效地从硅片、MEMS和其他敏感设备等基板上清除多种材料的表面残留物。强大的臭氧/等离子体系统发出一股等离子体，以快速清洁和处理来自各种材料的残留物。这一创新单元能够提供各种形式的微调等离子体化学，包括对流加热，同时控制正在加工的材料的能量密度和热物理特性。此外,SuperClean 1800还具有可调节的电源设置,以获得最佳效果。VERTEQ SuperClean 1800具有一个获得专利的疏散室，它将臭氧释放到真空环境中以加强清洁。这确保了所有光致抗蚀剂残留物和其他异物的快速彻底去除。臭氧源和疏散室用电离路径隔开，以帮助消除任何有害粒子的存在。这在处理小零件或细腻零件时特别有益。SuperClean 1800还配备了一台获得专利的冷却机,可在操作过程中将温度保持在50 ̊C以下,从而确保正在处理的敏感部件的安全性。该工具是为直观的软件和直观的用户界面直接操作而设计的。必要的流程参数可以输入到资产中,而学习周期模式允许用户在应用流程参数之前模拟流程参数。此型号还支持使用可移动无线拇指驱动器进行自动控制。温度和湿度监测等附加功能进一步提高了设备的安全性和准确性。VERTEQ SuperClean 1800获得CE&RohS认证,以证明符合国际安全标准,使其成为光刻胶清洁的可靠且经济高效的解决方桉。该系统是生产级制造工艺的一个很好的选择，该工艺必须管理从底物中去除光致抗蚀剂残留物和其他污染物。SuperClean 1800可快速高效地有效清洁表面,同时保持精致基板的安全环境。