二手 VERTEQ VPA-1987 #9165582 待售

VERTEQ VPA-1987 Photoresist Equipment是一种计算机控制、高分辨率、真空处理的光刻胶系统,用于微加工应用。该装置能够利用先进的显微光刻工艺，曝光和处理小至0.05微米的微观规模特征大小和结构。VPA-1987具有直径4.4英寸的晶片级,可提供自动晶片处理和加载,以实现准确和可重复的曝光和处理结果。机器中的全自动晶片翻转机构确保了抗蚀剂薄膜和基板的精确对准，即使在处理长轨道的8英寸晶片时也是如此。晶圆级也可以用来处理长达4英寸宽的矩形、正方形、圆形或图桉。该工具包括分辨率为0.005微米或更高分辨率的高分辨率接触打印头。先进的自动对焦功能可确保在基板上精确打印。内置的电动快门资产提供统一的曝光吞吐量和准确性。还包括一个用于测量和调整晶圆倾斜度的校准激光干涉仪。该模型使用了广泛的正负抗性，具有接受新抗性材料的灵活性。此外,VERTEQ VPA-1987提供从0.1秒到10分钟的可变处理时间,以及从-20摄氏度到150摄氏度的温度设置。可编程切换功能允许设备以无与伦比的速度执行各种作业。光刻胶系统配有彩色监视器和强大的内置软件。它允许用户为曝光的图像设置参数以及一次可以处理的晶圆数量。在处理运行过程中,可以在屏幕上监视结果。VPA-1987是一种坚固可靠的光阻装置，具有优越的位置精度和可靠性，用户可以轻松创建复杂的微观结构。VERTEQ VPA-1987 Photoresist Machine与精密曝光、温度控制和多晶圆处理功能等高级功能一起,是微加工应用的理想工具。