二手 WERNER MATHIS VF 500 #9069956 待售

WERNER MATHIS VF 500光刻设备是一种自动化的高精度光刻板对准系统,由全球领先的设备制造商之一Mathis Werner为先进的半导体制造而设计。这一特定单元针对生活在光伏产业中的太阳能电池器件工艺应用进行了优化。该机器由一个集成的非接触式面板识别工具和一个自动对准资产以及一个精密的半自动真空传输模型组成，提供了高度自动化。真空传输设备通过其精密对准传感器能够快速可靠地将基板运送到位，该传感器设计用于处理难以传输的基板，提供业界领先的对准精度。光刻板系统采用专利飞行时间和激光工艺，以纳米级增量精确测量距离，在1-2微米范围内精确对准面板。如此高的准确性克服了手动对齐方法通常遇到的不准确性。该单元由几个关键部件组成，包括一个前置头、一个框架安装传输、一个控制单元，以及一个具有广泛传感器和执行器的支撑平台，包括CCD摄像头、步进电机、伺服驱动器、传感器、摩擦仪、力表、光功表等。Prober head have two wafer stributes of ceramics with sapphire tips, specially designed to carries wafer and packages up 4 "and 8".这部分还有一个大真空平面，有90个可单独调节的探头，能够精确对准和对准小基板。它还包含一个独特的压力控制机，以保持基板高度准确定位。框架安装传输单元提供晶圆运动所需的运动控制。它包含线性编码器和步进驱动器，用于动态计算运输过程中基板的位置和速度。支持平台容纳集成传感器和执行器，包括CCD摄像头和激光测距工具。它确保基板在配位区的精确放置，并提供快速和精确的定位与精确的对准和预先对准。总体而言，VF 500光刻资产为光伏行业的众多应用提供了高精度、高速度和高可靠性的完美结合。它还通过其通用的设计、准确的注册和强大的客户支持为用户提供了较低的拥有成本。