二手 YUASA LPC-5211 #9392166 待售

YUASA LPC-5211是为制造先进阵列电路而设计的光刻设备。该系统利用光刻和蚀刻工艺的独特组合，以最小尺寸边距产生精确和复杂的图桉。LPC-5211利用光刻技术，利用光敏的光刻材料和遮罩在基板上形成图样。所用的特定光致抗蚀剂材料的组成可能因应用而有所不同，最常见的光致抗蚀剂是环氧树脂，如聚甲基丙烯酸甲酯（PMMA）。光致抗蚀剂材料暴露于遮罩的光线下，光致抗蚀剂的任何保形区域将保留，而底物的其余区域将暴露于蚀刻过程中以去除材料。该单元包括15英寸步进/扫描仪,可提供高达5 µm的阵列分辨率和2 µm的步进分辨率。这种分辨率由独特的二维激光干涉仪进一步增强，在曝光步骤中提供非常精确的图样和对准。YUASA LPC-5211的蚀刻工艺采用氧基等离子体蚀刻机，包括一台高功率微波发生器，提供高蚀刻速率和受控深度。该工具可提供高达0.6 µm/分钟的令人印象深刻的蚀刻速率和高达1 µm的蚀刻深度,并具有10-40瓦的可调功率。LPC-5211还配备了气流控制、真空监测、温度控制等众多安全功能，以确保安全、准确的光刻胶曝光和蚀刻工艺。如果检测到故障以防止代价高昂的损坏,该资产还能够进行自我故障诊断和自动关闭。总体而言，YUASA LPC-5211是为生产高质量和复杂电路而设计的可靠和精密的光刻胶模型。其高分辨率、优越的蚀刻速率和安全特性使其成为各种光刻应用的理想设备。