二手 YUASA LPD-182 #293758571 待售

YUASA LPD-182是一种光刻胶系统，设计用于在半导体器件加工之前制备基板。适用于制备半导体晶片、陶瓷或玻璃基板等需要永久保护层的基板。该系统主要由光敏层显影槽和自旋处理器两个部分组成。显影槽由内部加热水浴加热的石英罐组成。水箱有一个可调节的侧载式空气调节器，可控制水箱中水的浸入和清除。发展中的油箱还设有一个可以在20°C至60°C温度范围内调节的加热器和温度传感器，以及一个排水阀和一个光敏储层。旋转处理器是一个坚固、结构坚固、不锈钢、精密工程、风冷、两速、可调节的薄膜切片旋转器,可在每个旋转周期结束时停止。自旋处理器的设计能够提供精确的薄膜效果,从而形成完美、均匀、无污染的涂层。LPD-182可用于沉积各种光致抗蚀剂和底物的薄膜，如无定形和多晶硅、氮化硅、有机介电膜、聚酰亚胺和金属。它具有抗湍流和速干技术，以及消除水滴残留的速干模块。系统在一定温度范围内运行，罐内温度可根据应用设置为不同的级别。此外,每个自旋周期都可调节,以不同的速度进行处理。YUASA LPD-182为用户提供了为其半导体器件创建保护层的可靠且经济高效的方法。它经过了可靠性能的测试和认证,并以全面的保修为后盾,让担心的用户放心。