二手 YUASA SR-8040A #9375925 待售

YUASA SR-8040A是一种专为半导体生产而设计的高端自动化光刻工艺设备。此模型高度自动化,一次最多可处理10个晶圆的15个以上过程。YUASA SR-8040 A配备了专有的5级热控制系统,用于卓越的基板加热和冷却控制。它还具有内置的过程监控单元，允许更精确的抵抗-涂层均匀性。该单元可处理各种尺寸达8英寸的基板，晶圆对准精度在2.5 µm以内。该机还具有用于直接成像的高强度紫外线灯源。灯源采用石英玻璃绝缘出口窗设计，增强了紫外线均匀性。SR-8040A提供多种抗蚀剂处理功能,包括掩蔽、预烤、后烘烤、曝光、后曝光烘烤、显影、烘烤、蚀刻和计量。曝光单元配备了频率稳定的LED光源，允许精确对准。该机还提供高速和低速的开发和蚀刻工艺。该工具设计有充足的辐照控制，允许用户精确控制剂量和时间。室内设计采用等离子体清洗机构，以消除污染，最大限度地提高产量。触摸屏用户界面允许快速、准确的流程设置。SR-8040 a还具有独特的真空前缘清洁功能。这在高密度抗蚀剂应用中特别有用，因为它消除了整个晶片上不必要的抗蚀剂，只留下了预期的抗蚀剂。它还有一个前端过滤器，以防止杂质进入工艺室。要操作YUASA SR-8040A,用户必须遵守严格的安全程序。适当的培训至关重要；用户在使用前必须熟悉机器的规格和安全协议。适当的维护也是必不可少的。定期检查电路板和其他组件,以确保它们正常工作。YUASA SR-8040 A为精确的结果提供了卓越的光刻胶工艺控制。从高达8英寸的基板到用于直接成像的强烈紫外线，这种顶级资产对于实现最高水平的电路生产至关重要。