二手 YUASA Unicorn #293748587 待售

YUASA Unicorn是一种光阻设备，设计用于在半导体、微电子和集成电路（IC）基板上产生高质量、化学放大的正抵抗模式。由YUASA Electron开发，光刻胶系统使用同步加速器级超紫外线光源激活光刻胶配方；这会产生高长宽比、低缺陷密度和无堵塞蚀刻特征的图桉化基板表面。此单元不需要使用任何额外的掩蔽材料,从而可以直接创建复杂的布局。独角兽光刻机采用灰化工艺；这涉及直接或间接利用能量，例如热束或电子束，分解光刻涂层。灰化可以去除基板表面的污染和残留物，从而获得更均匀的图样结构和更好的抗粘性。YUASA独角兽工具生产优质基板表面；超薄抗蚀膜提供了最高分辨率的图像，直接降低了缺陷密度。此外，抗蚀剂结构的高长宽比提供了良好的附着力和兼容性与蚀刻工艺。此外，独角兽资产确保了极好的可重复性，使其适合于批量生产过程。YUASA独角兽光刻胶模型的灵活性使得光刻胶配方的调整更加容易；这为创建复杂的模式提供了更大的多功能性，包括创建微小的细线模式。此外，全面选择抗蚀剂配方的可用性为特定的处理应用程序创建了量身定制的抗蚀剂模式。整体而言，独角兽光刻设备是生产高分辨率、高纵横比图桉的有效可靠工具。它具有多种工艺和基板兼容性，使得各种IC和微电子的加工成为可能，从而能够大量生产高质量和复杂的基板。