二手 ZEISS A20 #9081688 待售

蔡司A20是光刻工艺中使用的光刻设备。该系统是在半导体、显示器和微机电系统（MEMS）生产中创建模式的重要工具。A20使用获得专利的液位对准技术，将其光学器件与目标基板精确对准。蔡司A20机组包括高精度的四轴运动级、掩模和晶片级以及扫描和步进电机。四轴运动阶段可确保元件在光刻过程中的精确运动。扫描和步进电机移动舞台上的光学元件，使其相对于基板精确定位。掩模和晶片级允许通过自动交换机制更快地交换晶片。A20专为高分辨率阵列设计,具有专有的高数值孔径（NA）光学设计。非接触式激光对准机使光学元件在光路中的定位更加精确。这样可以确保更线性的照片可定义模式。蔡司A20包括一整套自动化和控制光刻工艺的软件。这包括用于优化结果的自动化配方和扩展过程控制。软件包括OPC算法、岩性模拟算法和工艺优化算法。A20还利用了KrF、ArF、EUV光刻等光源。该工具被构建为与半导体加工中常用的化学品、光刻胶和蚀刻剂兼容。蔡司A 20光刻资产是开发先进光刻技术的重要工具。其高精度元件和自动化特性使其成为与半导体制造相关的各种应用的理想选择。通过其紧凑的设计和高性能，A20是一个经济实惠的选择，以实现精确的图案化结果。