二手 ZEISS A20 #9245012 待售

ZEISS A20光刻设备是一种半自动化系统，旨在方便开发用于微加工的光刻胶。它具有独特的集成设计，能够精确地自动控制光照，并具有集成的CO2激光单元，可提供高分辨率的光刻胶基板曝光。A20光刻机采用不锈钢制造，采用人体工程学设计，采用集成触摸屏，可精确自动控制曝光参数。它提供单步和多步曝光,并具有双级数字信号处理（DSP）功能,可提供高度精确的曝光级别。此外,该工具还可以精确控制光斑尺寸、光束偏振/方向、快门速度和强度。对于单步曝光，蔡司A 20光刻胶资产利用多达五个通过触摸屏界面控制和调整的CO2激光源。在执行多步骤曝光时,模型包括一个可编程控制器,用于调整曝光周期模式。该设备的CO2激光器提供高分辨率的光阻基板曝光，即使在较低的电压下也具有较高的光速率，而超薄激光器则提供更加精确和定向的曝光。光刻工艺的精确度和准确性也得到了提高，因为每次曝光时基板都会自动对齐，确保精确的配准。A20光刻胶系统还包括一个用于基板表面处理的自动清洁站和一个用于光刻胶涂层工艺的清洁室。洁净室里充满了氮气，以保证光刻胶在基材上的尺寸稳定性。蔡司A20光刻装置提供最先进的微加工技术，非常适合各种应用领域，包括先进的光电子、微流体和生物医学设备。