二手 ZEISS B12 #9231341 待售

ZEISS B 12是一款光刻设备，旨在为用户提供用于生产微加工元件的可靠高效光刻手段。ZEISS B-12基于传统的"自旋"聚合物抗蚀剂，用于无掩模光刻，在分辨率和图样保真度方面提供了优异的效果。该系统由三个主要组成部分组成：光刻胶、输送装置和真空卡盘。光致抗蚀剂是为特定应用量身定制的单体。它有正负两种工作公式。送货机是一种自动无掩码喷雾器，在基板上精确、均匀地分配光致抗蚀剂。这样可以对抗蚀剂进行精确的阵列处理。真空卡盘将基板固定在光刻过程中的位置。B 12可实现用户友好且一致的照片掩码精度,这意味着用户不需要大量时间来正确掩蔽其图层。抗蚀剂快速粘附在其涂抹的基材上，不需要烘烤或硬化。B-12与其他平版印刷系统无缝连接,便于集成。该工具可获得的分辨率非常高,允许将尺寸小于20 nm的特征可靠地转移到基板上。此外,还可以执行单层和多层过程,从而能够及时完成复杂层的高通量制造。由于其高效和用户友好的方法，蔡司B 12非常适合用于许多不同的应用，如半导体生产、MEMS制造和纳米加工。可靠的高分辨率、易于集成和多用途的功能使蔡司B-12成为生产微加工部件的一个非常有吸引力的选择。