二手 AXCELIS / FUSION Integra RS #293593049 待售

AXCELIS/FUSION Integra RS是一种快速热处理器（RTP），旨在支持快速的热扩散过程，如快速氧化、退火和驱动。这种工艺由于其多才多艺的能力和效率，在半导体行业中越来越受欢迎。FUSION Integra RS专为实现快速可靠的参数调整、提高流程性能和优化设备功能而设计。AXCELIS Integra RS的机械设计提供了最大的灵活性和过程正常运行时间。其专有的Rapid Thermal Ramp技术确保了对大型晶片尺寸的统一温度控制和性能,使其适用于各种工艺选项。该系统配有双扇形径向臂和软件控制的活动区域，便于统一的基板温度控制。Integra RS还具有先进的安全和环境保护功能。其先进的真空回填系统允许稳定的大气处理，保持工艺环境清洁。包括高级安全设计功能,包括安全联锁、可听警报和覆盖按钮。AXCELIS/FUSION Integra RS为电气和结构过程提供过程一致性。该系统支持各种工艺温度,并且可以定制以满足特定工艺需求。此外,FUSION Integra RS还配备了先进的光学和温度传感器技术,可提供实时温度测量和反馈,以及过程后分析。AXCELIS Integra RS旨在提供更高的吞吐量、更低的工艺成本以及可靠、可重复的结果。Integra RS凭借其先进的安全设计、环保和温度控制技术，是从MEMS设备到大面积光伏等应用的完美RTP解决方桉。