二手 AXCELIS / FUSION Integra RS #293615015 待售

FUSION的AXCELIS/FUSION Integra RS快速热处理器是一个先进的半导体工艺室，为各种应用和市场提供精确、精确的热处理。FUSION Integra RS具有先进的设计，允许最大限度地控制处理参数，允许无与伦比的处理质量和可重复性。AXCELIS Integra RS快速散热处理器提供两种不同的系统,即Standard和Plus,这两种系统均提供高效的散热管理和精确的温度均匀性,从而减少与对齐相关的损坏。Standard和Plus系统允许用户分别达到1450°C和1550°C的峰值基板温度。后者还提供了更快的热处理，最大坡道速率为12,000°C/min，使其适合高速和高功率应用，而Standard品种最高可达10,000 °C/min。Integra RS快速散热处理器具有多项关键设计功能,可确保精确、可重复的结果。其真空室位于一个热稳定的外壳内，提供温度均匀性、热效率和温度控制。其高度可配置的设计还使用户能够根据自己的确切需求定制腔室的特性。AXCELIS/FUSION Integra RS利用超精确的线性驱动设备进行晶圆的自动移动，用于晶圆的精确装卸。其最先进的反应室为用户提供先进的气体控制，包括对源气体的精确流量和压力控制，以及管理质量吞吐量的专利控制系统。FUSION Integra RS Rapid Thermal Processor提供了一套可选的脚部和附件,包括氧化剂、净化器、减震器和石英敏感器,允许用户根据需要升级其设备。其先进的安全系统提高了用户安全和机器正常运行时间，防止高温处理的潜在风险。最后,AXCELIS Integra RS快速热处理器提供了无与伦比的热处理性能,使用户能够最大限度地提高产量并减少产量损失。这种先进的工具提供了速度、精度、温度均匀性和控制的无与伦比的组合，使其成为满足一系列半导体加工需求的理想选择。