二手 MATTSON Millios #293647674 待售
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ID: 293647674
优质的: 2008
Flash Rapid Thermal Processor (FRTP)
EFEM
MPSU Module
Service module
Process module
SCCT Rack
VFD Module
Power vaccine
Top side control
Storage rack
Voltage box
Accessories
2008 vintage.
MATTSON Millios是一种快速热处理器，用于半导体晶圆和基板的快速加热、冷却和加工。它能够在0.5毫秒内达到高达1200 °C的温度,从而能够在各种材料及其表层上执行温度循环。它利用了基于MOSFET的加热系统，该系统可实现快速上升/下降的速度以及精确的温度控制（± 1°C）。Millios被用于各种应用，如氧化和氮化，氧化模拟，张力和退火，金属层对准和烧入，以及其他制造工艺。MATTSON Millios的设计采用了多项创新技术,可降低热偏移和较低的边缘温度梯度,并减少感应应力和改进氧化曲线。这些特性有助于改进热过程，创造出适合现代微电子不同需求的优越材料。该机器配有可控大气室，为进一步的温度控制提供安全的大气环境。该腔室可根据需要加压/降压用于真空或惰性气体大气浴。此外,该机器还包括先进的冷却系统,可提供卓越的冷却功能和最大的冷却响应时间。Millios提供基于新的、易于使用和可配置的图形辅助支持的高级集成用户界面。这有助于操作员快速简单地设置所需的热过程,以获得最佳效果。作为散热处理器,MATTSON Millios极其可靠,并得到无与伦比的维护和服务网络的支持。它们配备了完整的备件套件,允许快速、方便地更换,并减少了停机时间。总体而言,Millios是一款先进而创新的快速散热处理器,其功能旨在为用户提供卓越的性能,同时提供完全的灵活性和精确度。它旨在通过提供精确、可靠的供暖和制冷功能来提供准确、可重复和产量。这种直接供暖/制冷系统加上其先进的集成用户界面和全面的维护功能，确保了MATTSON Millios在未来许多年里将继续提供可靠和安全的操作。
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