二手 MATTSON Millios #9359557 待售

MATTSON Millios是一款快速热处理器（RTP），专为半导体和LED行业的一系列操作而设计。它利用先进的热技术提供了更高的工艺精度、可重复性和均匀性。该设备能够提供多达六个区域的温度控制，并且可以执行包括扩散、氧化和热退火在内的一系列操作。该系统配备了氮气净化，以帮助减少氧化和预成型过程，如退火和硼植入晶片。它可以容纳直径达300毫米的晶片，并能提供从-50摄氏度到1300摄氏度的温度。该装置还包括独特的栅格臂设计，有助于晶圆的均匀加热和冷却。这提供了精确和精确的温度分析。Millios还配备了实时过程监测机，为晶圆处理提供了进一步的精度和可重复性。此外，它还有一个集成的自动化装卸模块，可以简化装卸过程，并提供更安全、更快的晶圆传输。此外,此工具提供了多种选项来改善总体用户体验。这包括配方管理器资产,允许用户以最小的努力存储和召回处理配方以及管理不同的配方。它还有一个在线手册,其中提供了有关设置、操作和排除常见问题的详细说明。该型号适用于包括LED制造、MEMS等先进半导体应用在内的一系列市场。它通过互锁设备提供了改进的安全功能,可防止发生错误时操作。它还通过在处理过程中显示实际晶圆位置来增强过程控制。总体而言,MATTSON Millios RTP是一个高度复杂和可靠的晶片处理系统,可提供精确、可重复和均匀的热处理。它为用户提供了一系列功能和优势,尤其是在需要高精度和一致性的过程中。此外，它大大减少了浪费，同时提高了工艺效率，使其成为各种行业的理想选择。