二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha-8S-ZAR #9227411 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha-8S-ZAR是设计用于半导体制造行业的快速热处理器。它是一种先进的高温快速热退火器（RTA），提供精确快速的晶圆热控制。该设备具有先进的光学系统，利用闪光灯照明进行超高速加热，采用电磁驱动的石英振荡器板，以及两个线性反馈执行器来实现最大的热控制。TEL Alpha-8S-ZAR使用多个超快速脉冲闪光灯产生快速均匀的温度斜坡速率，在退火时提供精确的晶圆温度控制。此外,该单元还具有独特的数据捕获和控制功能,其"FluxEye"功能可测量和存储晶圆温度测量,从而实现更好的处理控制。TOKYO ELECTRON Alpha-8S-ZAR在超低压环境下也提供高达1400 °C的高处理温度范围。这提供了更高的工艺和薄膜均匀性，优越的热控制，以及与长期工艺相比的高度可重复性。Alpha-8S-ZAR配备了多种先进的安全功能，包括氢气安全选项，如果氢气水平达到室内危险水平，则启动紧急疏散程序。该机还具有全自动离线功能，包括惰性气流校准工具、用于进一步工艺控制的独立加热器电流和电压读数，以及有助于防止工艺超支和晶片热损坏的自动温度补偿算法。此外，TEL/TOKYO ELECTRON Alpha-8S-ZAR具有先进的FM/AM振荡器，内置遥控能力。此远程控制功能允许用户从远程位置监视资产参数,从而确保始终保持过程控制。TEL Alpha-8S-ZAR旨在满足半导体制造环境的需求,为用户提供优于长期退火过程的过程控制和可重复性。其先进的安全功能、广泛的功能和远程控制功能使其成为要求苛刻的半导体制造行业的理想选择。