二手 AIXTRON G5 #293601017 待售

AIXTRON G5是一种高级水平回流（HOR）反应器，专为生产复合半导体材料而设计。该反应器能够处理从分子束外延（MBE）到金属有机化学气相沉积（MOCVD）的各种沉积过程。AIXTRON G5的核心是专利绝缘、输送机设备和垂直冷墙的独特组合。通过这些组分将工艺室与热区分离，为复合半导体材料的沉积创造了稳定的环境。G5的主要特点是其大腔室设计，直径超过2.4m。这使用户能够同时容纳大量的基材和物料来源，从而最大限度地提高工艺效率。要管理这个大腔室，它分为两个功能层次，可以以不同的配置排列，以适应任何特定的沉积过程。上层用于引进原料，下层用于回收所得产品。G5的另一个关键特点是其专利保温系统。该单元由应用于所有内室壁的非金属材料组成，有助于减少基板支撑系统的热损失。由于这种绝缘机，AIXTRON G5能够保持工作温度比传统水平反应堆高10倍。先进的AIXTRON G5垂直冷墙工具进一步优化了工艺室的环境。这种巧妙的特性有助于减少晶片盒加工和其他基板之间的温度变化，从而更好地控制整个生长过程。对冷壁角度、温度和流量的调整可以手动改变，以适应任何工艺要求。最后,G5还具有定制设计的输送机资产,使物料处理和装载更加简单高效。这种输送机模型也是完全自动化的，允许对反应堆的温度剖面、气体控制和其他设置进行远程控制。因此，G5是一个可靠和强大的HOR反应堆设备，具有令人印象深刻的一系列特点和能力。