二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 #148644 待售

ID: 148644
CVD system.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200是一种外延反应器,设计用于先进的半导体晶圆制造。它适用于制作世界上最小的晶体管,以及具有优越速度和性能的晶体管。AMAT Centura 5200是Dual Pocket Process Chamber,有一个较大的腔室,可提供较高的直通空间,另一个较小的腔室可提供更高的精度。其先进的自动装载和装载保留设备确保了在清洁环境中高效可靠的生产过程。反应堆装有重离子源,能够进行优越的离子注入和蚀刻过程。它还包含MAXC均匀性系统,这是一个由四个高级传感器组成的集群,用于测量工艺剂量,以确保最高的基板均匀性。APPLIED MATERIALS Centura 5200的离子源和均匀性单元由MESA Advanced Plasma Source提供动力。这提供了优越的蚀刻速率,一致的功率和优越的工艺稳定性和均匀性在广泛的速度和工艺配方。Centura 5200还可以与先进的履带机技术集成。这种先进的工具具有用于转移晶片的机械臂,精确度和精确度无与伦比。无论预先分配的配方或生产速度如何,此资产都能提供平稳的操作。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200是一种节能反应堆,可以在不牺牲质量或速度的前提下从预设配方中节约能源。它具有无校准腔室温度控制和高贵的气体净化模型,两者都保证了优越的结果AMAT Centura 5200还符合环境法规,通过远程诊断提供易于维护和服务,并且可以定制以满足客户要求。这只是对APPLIED MATERIALS Centura 5200所具备的功能的简要概述:具有卓越速度和性能的先进半导体晶圆制造反应器、多用途负载系统、高精度和广泛的工艺控制。它是现代半导体制造需求的理想选择。
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