二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 #189437 待售
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已售出
ID: 189437
晶圆大小: 6"
优质的: 2001
CVD system, 6"
Specifications:
(2) chambers
8-slot cool down
Wide body load locks
BPSG
PSG
Undoped TEOS
2001 vintage.
AMAT/APPLICED MATERIALS Centura 5200是一种先进的半导体生产反应堆,设计用于大容量生产线。该反应堆建在流行的Centura平台上,用于晶片制造,将薄膜和氧化物沉积在硅片上。AMAT Centura 5200高度可定制,可配置用于不同类型的过程,如化学气相沉积(CVD)、物理气相沉积(PVD)和原子层沉积(ALD)。它被设计为在多种基板上生产出超薄膜结构,包括3 D记忆体结构、传感器、光子学和微电子学。APPLIED MATERIALS Centura 5200的核心由先进的工艺室和高效的成像设备组成。该工艺室配有涡轮分子泵、比例阀、直接进气溷合、光谱仪等工具。这些功能使系统能够实时准确监控沉积过程,并确保生成的层具有所需的厚度和均匀性。Centura 5200的成像单元是其最具决定性的功能之一。它采用高分辨率相机供电,能够对沉积在腔内的层进行完整的图像分析。机器跟踪沉积参数对最终结构的影响,允许操作员实时进行调整,以确保获得最佳效果。在性能方面,AMAT/APPLICED MATERIALS Centura 5200提供了与同级其它反应堆相比的几个优势。它具有更低的功耗和更高的吞吐量,使其能够在更短的时间内处理更大的产品批次。该工具也非常可靠,能够长时间执行操作而不会造成任何停机或维护。此外,资产可以与其他工具和系统结合起来,进一步提高生产线的整体性能。总体而言,AMAT Centura 5200是一种用途极为广泛的反应堆,旨在满足大容量半导体生产线的需求。其精密成像模型、可定制的工艺室和广泛的功能使其成为一种可靠、高效的解决方桉,可用于在各种基板上沉积薄膜。
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