二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 #200144 待售

AMAT/AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200是一种多室反应堆设备，为先进的半导体器件制造提供集成的蚀刻和沉积能力。它结合了流程灵活性、自动化性能和高吞吐量,非常适合大批量生产应用程序。该系统能够提供各种蚀刻和沉积过程，包括化学气相沉积（CVD）、等离子体增强化学气相沉积（PECVD）、原子层沉积（ALD）等等。它还可以在垂直和水平方向上运行,从而在过程集成领域具有更大的灵活性。该单元由三室构型组成，上室装有源和源支架，中室装有主加工室，底部装有排气机。该加工室是工具的心脏，并包含在一个真空密封的围栏中，其中包括氙、钛和不锈钢。该腔室设计为操作在5到10 mTorr之间，允许广泛的处理参数。该腔室设有一个可调石英敏感器，旨在提供均匀的沉积，并包括一个增强套件，以提供改进的反应性离子蚀刻（RIE）性能。AMAT Centura 5200最令人印象深刻的功能之一就是其先进的自动化功能。该资产能够精确准确地控制流程和配方,确保实现所需的性能。自动化模型还允许远程维护支持、增强过程控制和消除清洁室内人员的需求。此外,设备的模块化设计使其能够轻松适应新的流程要求,并且关键组件有多种配置,从而使系统更加高效和通用。总体而言,APPLIED MATERIALS/APPLICED MATERIALS Centura 5200对于大批量生产应用来说是一个令人印象深刻且可靠的单元它提供自动化性能、精度和高吞吐量,并提供各种蚀刻和沉积过程。它还用途广泛、节能，并包含先进的自动化能力，使其成为各类先进半导体器件制造的热门选择。