二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 #200226 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200是一种下一代PECVD反应器，适合以高效、经济高效的方式生产FinFET、栅极电介质、MEMS、薄膜散装材料和扩散屏障等先进半导体产品。AMAT Centura 5200具有模块化设计，它允许各种源气体组合，并具有轻松集成额外工艺模块的灵活性。其设计具有多种特点，旨在最大限度地提高材料质量和均匀性，包括获得专利的气体输送设备、高效的气体输送系统、低压远程等离子体源和高分辨率均匀性控制。此外,它的设计经过优化,可以随时间推移实现安全、可靠和可重现的性能。APPLIED MATERIALS Centura 5200具有一个大腔室设计,允许用户在一个统一的过程中处理多达4英寸的晶片。它具有自动晶圆传输单元，由于操作的非接触性质，降低了人为错误的可能性。这样可以防止在传输过程中晶片表面受到任何机械损坏。此外，自动气体处理机确保准确的气体入口速率控制和可重复性随着时间的推移。Centura 5200的工艺功能也极为通用。它具有0-300瓦的可选功率范围,可用于各种工艺配方。这些食谱可以根据个别要求量身定制,具体取决于应用程序和工艺条件。这使用户能够最大限度地提高AMAT/APPLICED MATERIALS Centura 5200的性能,并生产出质量最高的产品。在工艺均匀性方面，AMAT Centura 5200以接近完美的晶片对晶片均匀性在整个晶片表面取得了优异的成绩，超过了行业标准。整个过程是自动化的,需要最少的人工干预。这样可以确保一致性、时间和成本节约,同时提供最优质的产品。总而言之,APPLIED MATERIALS Centura 5200是处理半导体材料和组件的绝佳选择,具有卓越的性能和成本节约。其强大的设计、通用的工艺能力和高精度的均匀性控制使Centura 5200成为现代半导体生产的理想选择。