二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 #293607517 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200是专门为铜应用设计的先进半导体器件制造设备。它是一个干蚀刻反应堆系统，由一个综合反应堆子系统（IRS）和一个多反应堆子系统（MRS）组成。国税局由上反应堆和下反应堆两个反应堆组成，可配置为处理多达四百种不同的产品。MRS由另外四个独立反应堆组成，两个反应堆采用单一配置，允许高容量和低容量生产晶片。上反应堆是一种金属和氧化硅蚀刻反应堆，设计用于精确去除金属、氧化物、氮化物等薄膜，而不会损坏下面的底物。它是一种利用室内高速率脉冲的流动蚀刻装置，保证了膜的均匀蚀刻和高度控制。Lower Reactor能够同时进行标准蚀刻和高密度等离子体蚀刻工艺，提供高纵横比特性，具有高工艺重复性和产率。该机器提供直观的自动化软件模块,内建配方,并通过实时产品反馈进行流程优化。此外,该工具还具有高级诊断、流程例程和维护计划,可以快速识别和纠正错误。该资产具有很高的可靠性、高效率和经济效益，是半导体器件制造的重要资产。AMAT Centura 5200是半导体器件制造市场铜应用的优越干蚀刻反应器型号。它的多个反应堆为用户提供了多用途的蚀刻能力和过程重复性。此外,其先进的诊断、流程例程和维护计划使其成为高效的设备,为客户提供了巨大的价值。
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