二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 #293614968 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200是一种反应器,主要用于生产集成电路,用于薄膜介电沉积的高级工艺应用。它是200毫米晶圆范围内的蚀刻工具，提供先进的性能，具有高度的过程控制和可靠性。它是一种基板取向的蚀刻系统，是通过在薄膜材料（通常是二氧化硅）的表面上引入电场而产生的。AMAT Centura 5200用途广泛,能够支持多种工艺,包括高选择性、接触和非接触蚀刻、层沉积和钝化氧化。它还提供高吞吐量应用程序,能够同时执行多达七个过程操作。此外,APPLIED MATERIALS Centura 5200具有先进的功能,使其能够精确控制其工艺参数,包括能够精确控制蚀刻的均匀性,以及控制晶圆温度和压力。Centura 5200通过更快、可重复的蚀刻周期,使用户能够实现更高的流程稳定性。它能够为要求苛刻的工艺要求提供高蚀刻产量，如均匀性和深度控制以及对工艺参数进行高级微调。它还配备了无弧洪水、自动化过程监控和实时蚀刻速率等先进的安全功能。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200还具有独特的配置,以满足薄膜沉积和蚀刻的高通量要求。其先进的冷却系统允许较高的沉积速率和冷却时间，可配置用于单个晶片或多晶片应用。AMAT Centura 5200先进的温度控制功能提供了比传统系统更统一、更可重复的结果。APPLIED MATERIALS Centura 5200是一个坚固、精心设计的系统,即使在最具挑战性的条件下也能确保可靠的结果。它易于维护，具有广泛的兼容材料，可用于多种工业应用。Centura 5200是寻求可靠和先进的蚀刻和薄膜沉积工艺的用户的绝佳选择。