二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 #293818639 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200是业界领先的半导体生产反应堆，用于晶圆变薄、蚀刻和其他关键工艺制造集成电路（IC）。该反应堆是为可靠性和高通量而设计的。它有一个垂直的炉子布局，可以方便地进入晶圆装卸码头。反应器室由Hastelloy C-22制成，Hastelloy是一种以耐腐蚀性着称的镍基超级合金，提供卓越的可靠性和较长的工作寿命。垂直炉的布置也保证了最优均匀性，减少了喷嘴堵塞，提供了可重复的工艺结果。自动化气体控制设备进一步加强了这一点，该设备保持了一致的工艺条件。闭环过程控制系统为晶圆稀释过程提供了精确的实时监控和微调。AMAT Centura 5200还提供自动晶片处理，带有自动枪支移动和真空系统，用于装卸。这与清洁区域转移和自动测量相结合,大大提高了生产率。该单元还配备了一系列选项，以满足各种工艺要求。这些选项包括原位光学发射光谱、一个集成的氦气泄漏检测机、一个自动清洁工具和一个自动薄膜沉积资产。APPLIED MATERIALS Centura 5200是半导体行业保持产品质量、提供可重复结果和提高生产率的重要工具。其性能和可靠性使其成为晶圆稀释和蚀刻工艺的首选生产反应器。