二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 #9004510 待售

ID: 9004510
晶圆大小: 8"
CVD System, 8" (3) Chambers W x Z Process.
AMAT/APPLICED MATERIALS Centura 5200是一种反应堆,用于半导体工业的多种应用。它是专门为了生产硅、砷化氙、多晶硅等材料的高产、无缺陷的底物而设计的。AMAT Centura 5200的主要部件是熔炉、主室、加工室。炉子是设备的主要动力中心,用于控制系统温度以及为需要高温或真空的过程提供必要的动力。主室是放置基板处理的单元的主要区域。它还包含机器操作所需的一些仪表和控件。加工室位于主室内,包含实际加工基板所需的所有设备。APPLIED MATERIALS Centura 5200可以执行多种过程,从掺杂植入物到外延生长、光敏剥离、蚀刻。它还支持原子层沉积(ALD)和化学机械平面化(CMP)等先进工艺流程。该工具有一个广泛的配方库,配方可以针对特定的应用进行定制。Centura 5200是具有先进控制和技术的完全集成资产。它具有用户友好的人机界面(HMI),可以方便地访问模型设置和配方。该设备还具有低热梯度控制和改进的温度稳定性,允许更大的重复性和准确性。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200是半导体行业许多应用的绝佳选择,提供高产、无缺陷的基材和先进的工艺流程。它是一个可靠、用途广泛的反应堆系统,并得到AMAT致力于质量和创新的支持。
还没有评论