二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 #9046127 待售
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已售出
ID: 9046127
晶圆大小: 8"
RTP System, 8"
Divisional mainframe
(2) Load -locks
(2) Process chambers
(1) Cool-down chamber
Data logging capability
Wafer rotation: 90 rpm during anneal
Chamber heating: 187 tungsten-halogen bulbs in hexagonal pattern
Bulbs: 12 concentric zones (grouped)
Temperature controllers in software.
AMAT(APPLIED MATERIALS)AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200是一种高性能的过程增强反应堆,为满足半导体制造的严格标准而设计。它提供了许多旨在提高生产效率、最大限度地降低成本和优化产品可靠性的功能。AMAT Centura 5200能够在受控环境中快速处理各种材料,包括准金属和III-V化合物。它具有一个非磁性不锈钢腔室和一对坚固的石英波纹管和晶圆载体,以提高吞吐量。该设备包括冷却气体分配系统以及自适应冷却,确保整个腔室的温度均匀。APPLIED MATERIALS Centura 5200旨在减少周期时间、节约资源和提高产品质量。它具有高速垂直升降机和低高度装卸设计,大大减少了循环时间。该装置还拥有先进的热控制器,具有自适应线性化控制技术,改进的工艺传感器技术,以及确保准确、一致和可重复性能的真空自清洁机。Centura 5200的开发是为了满足需要提高生产效率的制造商的需求。它配备了先进的运动控制系统,确保精确的运动,以及高速、高精度的升降机和装卸机构。该工具还提高了工艺速度和精度,同时提高了晶圆的产量和均匀性。AMAT/APPLICED MATERIALS Centura 5200是寻求缩短循环时间和提高产品可靠性的半导体制造商的高性能选择。它设计为能够处理各种材料,并结合了一系列创新功能,旨在提高生产率、最大限度地降低成本和优化产品质量。
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