二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 #9181378 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200是一种多室反应器，设计用于半导体工业的一系列生产过程，包括蚀刻、沉积和离子植入。该设备能够同时处理多达12个晶片，提供高效的生产率。5200对每个工艺容器都有独立的真空、惰性气体和化学管理系统。它还包括一个物理气相沉积（PVD），一个电子回旋共振（ECR），和多个静电夹具（ESC）系统。ESC允许反应堆精确控制等离子体参数，从而产生更好的蚀刻和沉积结果。5200的设计考虑到兼容性，允许运营商将其整合到任何类型的半导体处理系统中。来自AMAT Centura 5200的接口可以连接到设施的计算机,从而提供设备与操作员之间的通信。这使得操作员可以同时监控多个参数，提供改进的过程控制和晶圆产量。5200还包括一个包含高级警报的图形用户界面，提醒操作员注意潜在的问题或问题。5200是当今市场上最先进的反应堆之一，提供多种工艺效益。它采用了最先进的等离子体推进和均匀性技术，为用户提供了更高的吞吐量和过程重复性。5200还具有一个先进的端点检测单元，其设计目的是在蚀刻造成晶圆损坏之前结束蚀刻。此外，它还具有先进的气体控制能力，包括尾气流量调制、ECR能力和反应性气体溷合。5200的设计符合所有适用的安全要求,既可靠又安全。该机设计符合NFPA标准，包括NFPA 85、NFPA 86和NFPA 496。此外,安全功能还包括用于消除过度蚀刻的回滚机制、高级行程监控和高级故障锁定配置。APPLIED MATERIALS Centura 5200因其先进的技术和安全特性，是半导体加工行业的理想选择。它为用户提供了最高的吞吐量和流程可重复性,以及可靠、安全的操作。