二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 #9196778 待售
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ID: 9196778
晶圆大小: 8"
优质的: 1996
PECVD System, 8"
Process: eMax
JMF
SMIF Interface: No
Chamber A / B / C: eMax
Chamber F: Orientor
Load lock A / B: Narrow
(6) Wafer sensors
EPD Controller
System placement: System alone
Chamber A / B / C:
RF Match: 0010-30686
RF Generator: OEM-28B
ALCATEL ATH1600M Turbo pump
Throttle valve
MKS TYPE127 1TORR Mono meter
Mainframe information:
System placement: Stand alone
Robot type: HP+
L/L Wafer mapping
Slit Valve / Plate type: Standard
Robot blade: Ceramic
W/F Slippage sensor
N2 Purge
Heat exchanger (Chiller): No
Dry pumps: No
System monitor: Stand alone
Gas panel configuration: 7 Channels
Chamber A:
CL2 / 100 Sccm / SEC-4400M
CF4 / 100 Sccm / TYLAN 2900
N2 / 100 Sccm / SEC-4400
AR / 300 Sccm / SEC-4400M
O2 / 5 Slm / SEC-4400M
CHF3 / 20 Sccm / SEC-4400M
CF4 / 100 Sccm / SEC-4400M
Chamber B:
C4F8 / 50 Sccm / SEC-7440MC
CO / 500 Sccm / SEC-7440MC
N2 / 100 Sccm / SEC-4400
AR / 200 Sccm / SEC-4400M
O2 / 50 Sccm / SEC-4400M
CHF3 / 100 Sccm / SEC-4400M
CF4 / 50 Sccm / SEC-4400M
Chamber C:
CL2 / 100 Sccm / SEC-7440MC
CHF3 / 50 Sccm / TYLAN 2900
N2 / 100 Sccm / SEC-4400
AR / 2 Slm / SEC-4400M
O2 / 5 Slm / SEC-4400M
CHF3 / 20 Sccm / SEC-4400M
CF4 / 50 Sccm / SEC-4400M
Electrical:
Line frequency: 50 / 60 Hz
Power: 208 VAC, 4 Wires, 3 Phase delta
Missing parts:
(2) Slit valves
(3) Flow sensors & coolant lines
EPD Monitor
Liner for B-ch
1996 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200是一种高容量的加工反应堆，为集成电路和先进半导体器件的制造提供卓越性能。AMAT Centura 5200的设计考虑到了先进的自动化和灵活性,从而实现了复杂晶圆处理任务的精度和速度。APPLIED MATERIALS Centura 5200配备了广泛的自动化功能，如自动晶片处理、可变位置加载/卸载、自动抗蚀剂和蚀刻工艺、自动激光阵列以及能够同时处理多达七个晶片。此外,Centura 5200还提供高级检查功能,如自动边缘扫描和缺陷检测。此高级功能集使AMAT/APPLICED MATERIALS Centura 5200能够比传统的处理系统实现更高的准确性和吞吐量。AMAT Centura 5200能够在各种处理条件下可靠运行,确保在各种环境温度和压力下的性能一致且可预测。它还配备了一个内置的环境监测系统，帮助操作员确保安全和有保障的加工条件。此外,APPLIED MATERIALS Centura 5200先进的动态控制系统不断监控和调整反应堆的内部压力,确保在整个蚀刻过程中保持最佳状态。Centura 5200还采用精确的过程控制系统,可持续监控和调整气流和压力水平,从而提供可靠且可重复的过程性能。该系统使得反应物浓度的精确控制，以及精确的温度和流动时间设置，让用户每次都能以可重复的过程达到精确的结果。此外,AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200还配备了集成工艺控制计算机,可提供晶圆温度和压力的实时数据以及其他重要的晶圆对晶圆工艺参数。AMAT Centura 5200先进的自动化和过程控制能力,加上强大的设计和构造,使其成为大容量蚀刻应用的绝佳选择。APPLIED MATERIALS Centura 5200能够同时处理多达7个晶圆,保证每个周期都能提供可靠且可重复的结果。它的高级自动化和过程控制功能还使操作员能够高效、准确地控制其蚀刻过程的参数,从而确保始终保持一致和可预测的性能。
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