二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 #9205664 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 Reactor是一系列先进的基于氧化的工艺模块,旨在在当今多样化的半导体制造环境中提供卓越的性能。该模块提供多种功能,例如双腔室设计,以提高均匀性,并具有高达20 Torr的高压能力,非常适合小型功能尺寸。此外,AMAT Centura 5200还提供高效的热管理设备,包括一台高功率射频发电机,可确保增加稳定性和控制温度平衡。该反应堆是AMAT完全集成的Centura平台的一部分，该平台包括一套全面的硬件、软件包和辅助设备，包括一个手动控制接口、多个仪表端口等，用于各种应用。APPLIED MATERIALS Centura 5200提供了针对氧化物沉积、氧化物蚀刻和CVD工艺优化的多室工艺系统，使得下游的硅烷、下游的氮化物和下游的氧化物能够同时进行。这让用户可以方便地将反应堆配置到自己的应用，无论是通过与CVC软件的无缝集成，还是通过使用可以与反应堆集成的APPLIED MATERIALS自动化包。同样,该设备与各种硬件组件兼容,以确保提高过程控制,提高准确性和可重复性。这些组件包括集成的旋转基板支撑、温度控制模块、过程可控晶片卡盘、侧壁产品支架和质量流控制器。在材料兼容性方面，Centura 5200被设计为与广泛的材料一起使用，包括SiO2、SiNx、Si、Al2O3和W.此外，反应堆可以调整到特定的底物，让用户达到优化的工艺条件。此外，该机先进的控制算法和集成的自动调谐功能提供了先进的过程均匀性和晶圆之间的最小变化。这样可以确保晶片级100%的产量和更高的设备性能。最后,AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200反应堆在现代制造环境中提供了先进的工艺控制、高速运行和卓越的可重复性,可优化设备性能。