二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 #9206626 待售

AMAT（APPLIED MATERIALS）AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200是一种热处理反应器，设计用于半导体晶圆的制造过程。反应堆提供高容量的吞吐量、低拥有成本和精确的过程控制能力。它为创建安全高效的半导体生产环境提供了理想的平台。AMAT Centura 5200由先进的四核处理器驱动,并集成了先进的自动化过程控制（APC）系统。APC提供了快速配方开发和配方管理的动态途径。它还使过程的连续闭环控制能够在产量和产品质量方面达到最佳的过程结果。APPLIED MATERIALS Centura 5200的热控制带有高级功能,如Quad-Flow均匀性系统。此高级功能可确保工艺温度均匀地分布在感光器上。这确保了一个统一和可重复的过程。该腔室还具有静电卡盘（ESC）顶板，在加工过程中固定晶片，消除了模模和模腔不均匀。Centura 5200还具有一个PECVD腔室,可为生长中的薄膜提供低温、高通量的解决方桉。PECVD室提供多种可选选项，从Al和SiOx薄膜到TaN薄膜和多晶硅薄膜。该室还具有生长不同结构和厚度的薄膜的能力，例如制造多层薄膜。AMAT/APPLICED MATERIALS Centura 5200可集成到全自动生产线，非常适合中高批量生产。反应堆接线用于四线控制，使Centura能够与大多数工艺机器人集成。其先进的真空系统保证了高吞吐量，最大限度地缩短了工艺时间，并取得了最佳工艺效果。综上所述,AMAT Centura 5200是一个最先进的热处理反应堆,在晶圆制造过程中提供精确的工艺控制、高吞吐量和成本节约。其先进的特点和集成能力使其成为中高批量生产线的完美解决方桉。