二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 #9221091 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200是一种高效可靠的反应堆，用于各种半导体制造工艺。它将一组独特的工艺技术与可预测和可重复的结果结合在一起，从而能够提供卓越的性能。它具有较高的吞吐量性能,旨在确保快速、一致的晶圆生产。AMAT Centura 5200是一种基于先进低压PECVD技术的单晶片显着集成化学气相沉积（CVD）设备。它是一个通用反应堆系统，可以配置为执行广泛的工艺化学和气体输送，以及不同的沉积速率和腔室大小。该设备提供业界领先的低压CVD功能,旨在实现各种薄膜沉积和蚀刻应用。PECVD过程模块结合了许多专有的过程控制技术,可提供最高级别的精度和可重复性。这样就可以获得更高质量的CVD薄膜沉积。APPLIED MATERIALS Centura 5200通过先进的控制技术得到进一步增强,使用户能够从头到尾控制沉积过程。这包括先进的晶圆跟踪技术，为用户提供增强的工艺和产量控制，以及更大的吞吐量。Centura 5200还配备了完全自动化的热管理机器,以提高产品完整性。该工具能够支持高达每小时2000晶圆的吞吐量以及Si、SiC、Co、W和Ta等常用基材。总而言之，AMAT/APPLICED MATERIALS Centura 5200是一种先进、可靠和高效的反应堆，适用于广泛的CVD应用。它提供卓越的性能、可重复性和高产率。