二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 #9240242 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200是为半导体制造工业设计的多反应堆。该反应器用于将介电层和半导体层的薄层沉积在IC上。它为复杂的集成电路结构提供了顶级的精度、准确性和产量。AMAT Centura 5200的主要特点是其先进的模块化结构。它包括一大堆模块，如掺杂前反应室、掺杂后反应室和涡轮泵。掺杂前反应室是一种密封的环境，允许引入反应性气体进行掺杂、图样化和沉积操作。它也作为沉积过程开始前引发晶片的环境。后掺杂反应室用于沉积基于E-Beam工艺的电介质或半导体薄层。此外，APPLIED MATERIALS Centura 5200具有涡轮泵，提供稳定和静态的真空环境，以稳定反应室内的大气。Centura 5200的尖端设计经过优化,可最大程度地减少表面污染并最大程度地减少颗粒缺陷。沉积过程中采用了多种并发技术，如计量和粒子控制特征，监测各层的临界尺寸和变量。此外,AMAT/APPLICED MATERIALS Centura 5200的设计具有很高的可配置性,可以根据各种工艺要求进行定制。除了其最先进的工程外，AMAT Centura 5200还为半导体制造提供了许多好处。模块化设计允许同时沉积薄层和复杂层，减少循环时间，简化过程控制。此外,它还有助于降低颗粒和缺陷水平,提高设备和产品的可靠性和产量.最后,APPLIED MATERIALS Centura 5200使用的强大技术还确保了高吞吐量、高效率和准确性,同时保持了产量和成本之间的平衡。