二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 #9251054 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200是一款高度先进和可靠的半导体沉积设备,旨在满足现代半导体行业的需求。该系统被设计为提供卓越的性能,高工艺速度和优异的效果,即使具有高吞吐量和大基板。该单元基于最新的逐层材料沉积技术,允许同时沉积多层。AMAT Centura 5200可实现精确的材料沉积,在整个基板表面具有高均匀性、高一致性和最小的污染水平。该机使用超精密元件,如闭环激光调平和精确沉积速率监测,以确保薄膜沉积的一致性和可靠性。此外,该工具的机器人负载锁允许快速和自动化的装载,卸载和转移基板。该资产还配备了多源、多配置源腔室。这样可以同时沉积多达四种不同的材料,提供精确的厚度控制和较高的沉积速率灵活性。APPLIED MATERIALS Centura 5200功能强大,提供3.6 nmol/min的输出级别,薄膜速率为0.023nm/min。为了增加灵活性,该型号还能够在多个频率下运行,温度范围很广。Centura 5200还提供高级控制功能。它使用分布式计算机架构,将几台嵌入式计算机集成到设备的各种组件中。这允许精确控制系统的过程参数,如气压和等离子体功率。此外,它还提供数据日志记录、报警和实时报告功能,以便于操作。总而言之,AMAT/APPLICED MATERIALS Centura 5200是用于薄膜沉积的先进、可靠且高度可定制的工具。它能够提供出色的结果,并可以帮助半导体制造商提高生产效率和优化工艺。
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