二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 #9253559 待售

AMAT（应用材料）AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200反应器是一种先进的氧化物、氮化物和其他材料的加工室。该反应堆主要用于半导体和先进的包装装置制造，是这些领域最受欢迎和用途最广泛的反应堆之一。它具有多用途功能,并提供高级功能以提高产量。AMAT Centura 5200反应堆是一种高度灵活、先进的工艺室，最大处理室容量为2.5-16立方英尺，额定压力大于0.1 mTorr。它具有多种工艺能力，包括等离子体增强化学气相沉积（PECVD）、大气和低压化学气相沉积（APCVD和LPCVD）、高温和低温退火以及快速热处理（RTP）。它配备了一个正在申请专利的"Cool Edge"功能，以减少工艺基板上的热应力，以及一个集成的双微米基板平整器和接触系统，以提高基板平整精度。它还具有一整套附加功能和优点，如：自适应调谐自动腔室优化系统、具有集成双微米接触系统的精密基板调平器、双端口泵站、自备电源和采用超流速技术的气体输送系统。它旨在满足各种半导体器件的生产需求，如：单晶晶片、MEMS、CMOS、IC和其他高级封装器件。APPLIED MATERIALS Centura 5200反应堆提高了工艺性能和可靠性，提高了整体产量和工艺一致性，使得生产出更可靠的产品。其紧凑的设计和易用性使其非常适合研究和生产应用。其可靠的性能和广泛的工艺能力使其成为现代半导体制造环境的理想选择。