二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 #9401872 待售
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ID: 9401872
优质的: 1996
Dry etch cluster
(3) Process chambers
RF Supply cabinet containing
RFPP LF10A RF Supply
RFPP RF20R RF Supply
(3) ENO IEM-12B3 RF Generators
(4) BOC EDWARDS QDP80 Vacuum pumps
(2) BOC EDWARDS QDP40 Vacuum pumps
(3) NESLAB HX 150-CHX Recirculating chillers
NESLAB Steelhead 1 CHX recirculating chiller
Power supply: 208 V, 60 Hz, 139 kVA
1996 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200是设计用于半导体工艺制造的反应堆。专门设计用于支持铜电化学沉积、铜化学机械抛光和铜电化学蚀刻工艺。腔室有能力处理尺寸从150毫米到300毫米不等的晶片。AMAT Centura 5200具有强大的平台,提供优化的一致性、可重复性和无与伦比的设备灵活性。独立、低漂移、动态和静态电源可提供精度和稳定性。先进的电镀化学，加上独特的双电极调谐和过程监测策略，提供优越的脉冲形状控制，以减少变化，进一步提高均匀性。APPLIED MATERIALS Centura 5200采用热墙设计,可促进高级流程开发并优化性能。模块化工具包还允许流程扩展和开发以及提高吞吐量。Centura 5200的全自动气体输送系统和先进的两级洗涤装置确保了卓越的气体控制一致性和准确性。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200还配备了先进的过程监视机器TELED®工具,其中包括边缘BIOS®映像和过程状态数据库。此资产可以在所有过程中快速监控配方变更、漂移值、模型状态和趋势,从而提供从初始校准到以后维护和优化的全面控制。这种卓越的控制和灵活性使AMAT Centura 5200成为满足各种半导体工艺制造要求的理想解决方桉。它具有高度可靠、高效和优化的特点,可实现最高的精度、均匀性和速度。APPLIED MATERIALS Centura 5200是革命性的半导体加工工具，也是半导体工程的关键资产。
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