二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 #9402491 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200是半导体製造工业中使用的最先进的沉积反应室。它提供了真空溅射、化学气相沉积和热氧化在晶片上形成薄膜金属或介电层的能力。AMAT Centura 5200有一个24英寸的单晶圆工艺室，最高工作温度为1,000 °C。它配备了两个独立控制的溅射源，允许材料在晶片上均匀沉积。它还包括两个射频电源，既可用于溅射，也可用于氧化等热过程。除了自动化的过程控制外,APPLIED MATERIALS Centura 5200还配备了集成的过程控制设备,可立即提供反馈以确保晶圆涂层的准确性。此系统还允许用户查看实时流程数据并在需要时修改沉积参数。该室还设有一个具有精确计量能力的气体输送装置和一系列阀门，使用户能够准确控制各种过程。Centura 5200的设计具有多种安全功能,如高压密封机等,可保护环境和人员免受危险材料的任何潜在释放。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200是大批量生产和研究应用的理想机器。它具有较长的使用寿命和细致的工艺完整性，使其适合以最具成本效益的方式制作出质量最高的薄膜。其独特的沉积方法、精密的过程控制和安全特性组合，确保了它是设备开发者和制造商中的领先选择。