二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #101854 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是半导体工业中用来创建集成电路的半导体加工工具。AMAT P-5000是一种具有四区法的热氧化反应器，允许均匀一致的加工。这台设备使用石英管作为反应室，最高可达1500 °C。这些控制允许对温度、压力和其他参数进行微调，以产生精确的氧化表面。该系统由四个区域组成,包括预热、氧化、冷却和晶圆清理。预热区由两个用来提高晶圆温度的加热器组成。温度用热电偶监测，用温度控制器管理，确保温度准确。氧化区使用反应室进行氧化过程。腔室使用石英管、两级扩散泵、氧化剂和/或还原剂的强制流动以及微波等离子体源的组合。这种组合产生精确的氧化表面。冷却区用于将晶圆的温度降低到安全水平。这是通过使用气体清除装置和位于室内的散热器来完成的。晶圆清理区用于清洁和抛光晶圆的氧化表面。这是用热板和化学清理工艺完成的。APPLICED MATERIALS P 5000机高度可定制,具有多种特点,如：双区域温度控制、用于裁剪材料沉积的微波,以及提高生产率的各种其他便利设施。该工具非常适合用于先进的半导体研究和生产。APPLIED MATERIALS P-5000能够产生高度精确、均匀和可重复的结果,是半导体行业必不可少的工具。