二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #115356 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一种全自动300 mm单晶圆反应器，提供精确的低压化学气相沉积（CVD）技术。该工具由几个组件和子单元组成，包括一个环境室、一个加工室、一个转移室和一个炉。环境室是该反应堆的主要部件之一。用HEPA空气过滤器密封，确保反应堆内部环境清洁。该室装有一个高速机械臂，然后用来将晶片往返于传输室，以及提供晶片方向的精确控制。工艺室是化学气相沉积（CVD）工艺发生的地方。这个腔室装有两个CVD反应堆，利用高温和精确的低压将一层薄薄的材料沉积到晶圆上。可以精确控制工艺室内的温度，确保整个晶片均匀沉积。转移室是一个大的真空密封室，里面装有将晶片从环境室移动到加工室的转移机器人。该腔室旨在确保晶片在转移过程中保持安全且无污染。该炉是一种高温烤箱，用于在CVD工艺前后烘烤晶片。这种加热的烤箱有助于提高晶圆上沉积材料的附着力，也有助于均匀沉积。AMAT P-5000还具有先进的计算机监测系统，可对沉积过程中的电流参数和温度进行精确控制和监测。这种计算机监控系统还允许用户存储和检索食谱，以及监控内部和外部温度。总体而言，应用材料P 5000反应器的设计目的是在沉积均匀、重量均匀的晶片上对材料进行精确的低压化学气相沉积。该工具配备了几种不同的部件，包括一个环境室、一个工艺室、一个转移室和一个熔炉，这些部件共同工作，以确保清洁、无污染的环境，实现清洁、精确的沉积。