二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #152721 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一种为高生产率半导体器件制造而设计的全自动反应堆设备。它能够沉积、蚀刻和清洗集成电路生产中所需的所有材料。该系统结合了先进的工艺控制、先进的基板处理和监控功能。AMAT P-5000采用了由沉积源、负载锁、中央工艺室和维护室组成的模块化体系结构。沉积源包含化学源、涡轮分子泵和升华加热器，而中央工艺室则有真空泵、气体分配系统以及沉积和蚀刻过程所需的其他组件。为了进行化学机械平面化，APPLIED MATERIALS P 5000包括一个CMP站，带有一个化学输送单元和一组旋转垫子。载荷锁有两扇门，用于从外部环境中转移基板，设计目的是尽量减少颗粒的引入。这台机器能够处理直径在4到12英寸之间的基板。该工具包括一套强大的制造半导体器件的工艺能力。硅、钛和钨上的介电沉积得到高速率离子辅助沉积技术的支持。金属和介电层的蚀刻是通过磁控管溅射蚀刻、感应耦合等离子体蚀刻和物理溅射实现的。APPLIED MATERIALS P-5000还支持散射、退火和焊接等热过程。开发该资产的重点是高生产率和可重复性，使其成为大规模生产工作的理想之选。它通过集成复杂的过程控制算法、易于使用的用户界面、自动故障排除和可追踪性来实现这些目标。此外,P 5000可以轻松地与许多现有工厂自动化系统集成,使其成为大规模生产环境中可行的解决方桉。APPLIED MATERIALS P 5000具有广泛的工艺能力、易用性、高吞吐量以及集成到许多现有生产设施中的能力,使其成为设备制造的宝贵工具。它为快速高效生产高质量的半导体器件提供了条件。